专利摘要显示，本发现涉及一种智能从动化薄膜制备表征系统，包罗进料设备、多个传样腔盒、进料设备用于毗连传样腔盒，相邻的两个传样腔盒之间以及进料设备取传样腔盒之间均设置有传样布局，传样腔盒包罗腔盒本体、多个察看窗和多个互联法兰，多个察看窗间隔设置正在腔盒本体上且下端向下伸入腔盒本体的内部，本发现可以或许处理实空和非实空设备的互联以及高效流水线样品传输。